掃描電子顯微鏡的設(shè)計(jì)思想和工作原理，早在1935年便已被提出來了。1942年，英國先制成一臺實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡，但由于成像的分辨率很差，照相時(shí)間太長，所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的努力，尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展，到1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡。近數(shù)十年來，掃描電子顯微鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。

掃描電子顯微鏡的特點(diǎn)：

和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比，掃描電子顯微鏡具有以下特點(diǎn)：

①掃描電子顯微鏡能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

②樣品制備過程簡單，不用切成薄片。

③樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。

④掃描電子顯微鏡景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

⑤圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高。掃描電子顯微鏡可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。掃描電子顯微鏡分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達(dá)3nm。

⑥電子束對樣品的損傷與污染程度較小。

⑦在觀察形貌的同時(shí)，掃描電子顯微鏡還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。